TFT-LCD制造工藝流程

                                                                                                                                                                                                            文/三元晶

薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）通常采用兩個(gè)加工過程并行進(jìn)行加工成成品,如圖1所示。其基本工藝如下：

                        圖1. TFT-LCD 工藝流程圖

● 通過前玻璃基板/彩色濾光基板工藝過程形成精確排列的彩色濾光層。
● 薄膜基板工藝形成薄膜晶體管液晶（TFT）陣列及顯示器像素控制所用其它電子元件。每個(gè)像素一般對(duì)應(yīng)三個(gè)薄膜晶體管液晶（TFT）,每個(gè)像素控制一個(gè)共同構(gòu)成一個(gè)像素的“色點(diǎn)”。薄膜形成工藝采用與半導(dǎo)體制造技術(shù)相類似的CVD、Etch及PVD等工藝技術(shù)。此類工藝步驟應(yīng)反復(fù)數(shù)次,連續(xù)膜層方可形成一個(gè)功能元件（圖2）。

              圖2. TFT-LCD的典型陣列工藝步驟

● 兩塊基板合二為一,中間注入液晶材料。
● 最后組裝背光及驅(qū)動(dòng)電子元件,制造出TFT-LCD 模塊。